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磨粒流深度解析,內(nèi)孔拋光后粗糙度能達(dá)到多少?

希樺機(jī)械 發(fā)布:東莞市希樺機(jī)械有限公司 發(fā)布日期:2022-10-13

磨粒流用于內(nèi)孔拋光后的粗糙度能達(dá)到多少?其實(shí)這個問題沒有一定的答案,我們用一個案例來詳細(xì)解析這個問題。



這是一個半導(dǎo)體領(lǐng)域常用的零件——三通。機(jī)加工之后,我們將其中一件用內(nèi)圓磨先粗打磨了一下,另外一件沒有粗打磨。這樣剛好做一個對比,看看磨粒流用于內(nèi)孔拋光的能力范圍。

首先我們通過顯微鏡看到的是沒有經(jīng)過粗打磨的內(nèi)壁,刀紋非常深。

這是內(nèi)圓磨粗拋過的內(nèi)壁,深刀紋已經(jīng)被去除了,只剩下一些非常細(xì)的淺紋路。

磨粒流在拋光沒有粗打磨的內(nèi)孔時,只能選用顆粒度較粗的軟性磨料,太細(xì)的磨料沒辦法去除這些深刀紋。但缺點(diǎn)是,顆粒度較粗的磨料沒辦法達(dá)到鏡面效果。

而經(jīng)過粗打磨的內(nèi)壁,則可以使用顆粒度更細(xì)的磨料,一次達(dá)到鏡面效果。

接下來我們分別看看沒有經(jīng)過處理,機(jī)加工后直接用磨粒流拋光的內(nèi)孔,以及經(jīng)過了內(nèi)圓磨再用磨粒流拋光的。

可以看到,直接拋光的內(nèi)壁雖然紋路也可以被去除,但是內(nèi)壁的細(xì)膩程度不夠。總是有一些小麻點(diǎn)之類的,這時候的表面粗糙度只能達(dá)到Ra0.6-0.4,還達(dá)不到鏡面。

我們再看下粗打磨后用磨粒流拋光的內(nèi)壁:

對比非常明顯,這樣拋光后的內(nèi)孔細(xì)膩程度更好,沒有了那些小麻點(diǎn)一樣的凹坑。粗糙度已經(jīng)達(dá)到了Ra0.1以下,如果內(nèi)圓磨的細(xì)膩度更好,那磨粒流拋光后的粗糙度甚至可以達(dá)到Ra0.02左右。如果不是內(nèi)壁上有些臟污,那看起來就是一塊黑玻璃。

如果說顯微鏡觀測還不夠直觀的話,我們直接肉眼觀測,看看這兩種情況下磨粒流拋光的效果有何不同:

綜上,如果需要用磨粒流將內(nèi)孔拋光到鏡面效果,我們需要先將內(nèi)壁的粗糙度做到Ra0.6以下,如果粗糙度在Ra0.6以上,那么直接用磨粒流拋光很難達(dá)到鏡面。

磨粒流這種柔性物理拋光方式,和其他硬性物理拋光方式不同,不會說任何表面拋光后都會固定在一個標(biāo)準(zhǔn)值,而是隨著材質(zhì)、原始粗糙度、孔徑等不同而改變。


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